问：
请问如何溶解该芯片底层，并保留上面的金属线路完好无损。
答：
OK,要溶解芯片底层而不损坏上面的金属线路,可以采取以下方法:
1. 选择恰当的腐蚀液。这里推荐使用氢氟酸,它可以选择性腐蚀硅片和二氧化硅,但对金属线路损害很小。可以使用浓度为5-10%的氢氟酸溶液。
2. 盖上防腐蚀树脂或光刻胶。先在芯片表面涂上一层防腐蚀的聚酰亚胺或光刻胶,然后选择性露出需要保留的金属线路部分。这可以有效防止这些线路被腐蚀液侵蚀。
3. 慢慢浸入腐蚀液中。将芯片缓慢浸入腐蚀液中,这可以让液体慢慢渗入芯片内部,同时也不会产生过快的气体产生导致线路脱落。控制好液体浸入的速度和时间,直至硅片被完全腐蚀干净。
4. 中和和清洗。将腐蚀后的芯片取出,用去离子水中和残留的腐蚀液。然后清洗干净, blow dry。此时底层硅片和二氧化硅应已被完全溶解,仅留下金属线路。
5. 视情况重复。如果有需要,可以再次进行选择性防护,然后重复上述步骤,直到达到理想效果。
具体操作时需要注意安全,氢氟酸是危险腐蚀液体,操作时一定要戴手套和防护眼镜,并在通风橱中进行。希望以上步骤对你有所帮助!有任何其他问题可以继续咨询。